• Les réfractaires

Circuits éléctroniques

Hexafluorure de Tungstène

Identification de la substance

Formule chimique : WF6

Autre nom : Fluorure de Tungstène (VI)

CAS : 7783-82-6

ID Pubchem : 522684

Pureté : 99%

Propriétés physiques et applications

Poids : 297.830 g/mol

Apparence : gaz incolore

Densité :  4.56 g / cm3

Point de fusion : 2.3 °C

Point d’ébullition : 17.1 °C

Applications : Le WF6 est utilisé le plus souvent pour la production de certains circuits électroniques. Au cours de procédés de dépôts chimiques en phase vapeur il produit une couche de tungstène métallique ou de siliciure de tungstène à faible résistivité qui permet les interconnexions.

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